近期，光谷企業(yè)在半導(dǎo)體專用光刻膠行業(yè)實(shí)現(xiàn)重大突破：武漢太紫微光電科技有限機(jī)構(gòu)（以下簡(jiǎn)叫作“太紫微機(jī)構(gòu)”）推出的T150 A光刻膠制品，已經(jīng)過(guò)半導(dǎo)體工藝量產(chǎn)驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)配方全自主設(shè)計(jì)，有望開創(chuàng)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體光刻制造新局面。
該制品對(duì)標(biāo)國(guó)際頭部企業(yè)主流KrF光刻膠系列。相較于被業(yè)內(nèi)叫作之為“妖膠”的國(guó)外同系列制品UV1610，T150 A在光刻工藝中表現(xiàn)出的極限分辨率達(dá)到120nm，且工藝寬容度更大，穩(wěn)定性更高，堅(jiān)膜后烘留膜率優(yōu)秀，其對(duì)后道刻蝕工藝表現(xiàn)更為友好，經(jīng)過(guò)驗(yàn)證發(fā)掘T150 A中密集圖形經(jīng)過(guò)刻蝕，下層介質(zhì)的側(cè)壁垂直度表現(xiàn)優(yōu)異。
太紫微機(jī)構(gòu)成立于2024年5月，由華中科技大學(xué)武漢光電國(guó)家科研中心團(tuán)隊(duì)創(chuàng)立。團(tuán)隊(duì)安身于關(guān)鍵光刻膠底層技術(shù)開發(fā)，在電子化學(xué)品行業(yè)深耕二十余載。
企業(yè)負(fù)責(zé)人、英國(guó)皇家化學(xué)會(huì)會(huì)員、華中科技大學(xué)教授朱明強(qiáng)暗示：“以原材料的研發(fā)為起點(diǎn)，最后得到擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的配方技術(shù)，這只是個(gè)起始，咱們團(tuán)隊(duì)還會(huì)發(fā)展一系列應(yīng)用于區(qū)別場(chǎng)景下的KrF與ArF光刻膠，為國(guó)內(nèi)關(guān)聯(lián)產(chǎn)業(yè)帶來(lái)更加多驚喜。”
太紫微核心開發(fā)團(tuán)隊(duì)成員（前排左一為朱明強(qiáng)教授）
太紫微機(jī)構(gòu)致力于半導(dǎo)體專用高端電子化學(xué)品材料的研發(fā)，并以新技術(shù)路線為半導(dǎo)體制造開辟新型先進(jìn)光刻制造技術(shù)，同期為材料的分析與驗(yàn)證供給最全面的手段。
“無(wú)論是從國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)崛起的背景來(lái)看，還是從摩爾定律演變的規(guī)律展望將來(lái)，‘百家爭(zhēng)鳴’的局面已形成，光刻行業(yè)還會(huì)有非常多新技術(shù)、新企業(yè)破繭成蝶，但持有科技創(chuàng)新的力量是存活下去的必要前提。”太紫微外聘專家顧問(wèn)暗示。
